氯化氫氣體管件在安裝時，施工原則是應(yīng)盡可能地以連續(xù)式且無接口的方式進(jìn)行，這樣可以減少使用接頭的數(shù)量，降低潛在的氯化氫氣體泄漏風(fēng)險。管件與管件間的連接最好以軌道式焊接法（Orbital Welding）來接合，對于不銹鋼的焊接要采用氬弧焊，并向施焊管內(nèi)通入同等純度的氬氣，這樣可以確保連接的品質(zhì)，并防止管件內(nèi)壁因不當(dāng)?shù)暮附佣练e碳，從而造成氯化氫氣體管件的污染。

      管件與各種配件之間的連接必須以金屬面對金屬面密封（Metal to metal face seal）的方式進(jìn)行。一般晶圓廠比較常用的氯化氫氣體管路連接的接頭方式有VCR 和Swagelok兩種，具體選用形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對高純度氯化氫氣體的用氣要求和氯化氫氣體本身特性進(jìn)行選擇。

      一般情況下，VCR式的接頭主要用在制程氯化氫氣體以及危險氣體的傳輸上，管路連接后接頭里面的墊圈（Gasket）將會適度變形以確保管路每秒低于10 -9cc的氦氣泄漏率（Leakage Rate）。不過在接合時要避免因拴得太緊而導(dǎo)致不銹鋼墊圈過度變形造成接合不良或氣體外泄。Swagelok 接頭通常用在惰性氣體、氮氣以及CDA等氣體的傳輸上，因為這些氣體可以容許一定的外泄率，所以不常用成本較高且須焊接的VCR式接頭。

      總的來說，管件的安裝原則是應(yīng)盡可能減少管件的長度、接頭和閥件的數(shù)量，因為大多數(shù)的危險氣體的泄漏都發(fā)生在施工不當(dāng)?shù)慕宇^和閥件接合處。

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